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欧盟功能金属氧化物薄膜材料应用于新一代电子装置

日期:2016-03-29

 

  由欧盟8个成员国德国、英国、意大利、比利时、荷兰、葡萄牙、希腊和斯洛文尼亚的微纳米电子工业界联合科技界组成欧盟微纳米电子技术平台(ORAMA ETP),制定出战略科研议程(SRA)和技术开发路线图。建立起可全面分析模拟功能金属氧化物的二元、三元和四元结构数字模型,可有效分析材料的物理化学、电磁传导、掺杂机制、薄膜形态和光电特性等,预测薄膜材料的特定功能。采用先进的细胞粒子等离子技术(Particle-in-Cell plasma technique),在低温情况下通过柔性衬底模板沉积法(Patterned Deposition),实现功能金属化合物薄膜材料的低成本生产。截至目前,技术平台已成功开发出材料的一系列创新型产品应用。例如,替代传统开关、旋钮或按钮的触摸屏产品;检测低浓度气体或化合物的传感器;电致变色或光致变色玻璃产品等。(科技日报)

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